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一种等离子体反应机台，包含：腔体、平台及缓冲组件。腔体具有容置空间；平台，设置于腔体内；缓冲组件，设置于腔体内且邻近平台的侧边，缓冲组件与平台共同将容置空间区隔为第一空间与第二空间，并且部分与侧边形成气体通道，气体通道由第一空间朝第二空间的...
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