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本发明涉及一种半导体设备气体混合控制器，采用以下技术方案：包括输入部分、控制处理部分、输出部分、RS485通讯端口和电源。输入部分包括模拟信号采集模块、氢氧比例输入模块和SIH4压力输入模块，输出部分包括模拟通道输出模块、控制通道输出模块、...
该专利属于济南大学所有，仅供学习研究参考，未经过济南大学授权不得商用。

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