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本发明涉及有关未被抽样的工件的数据表示。本发明揭示了一种提供与未被抽样的工件相关联的数据表示之方法、装置、及系统。接收与第一工件有关的所测量之量测数据(metrology?data)。根据与该第一工件有关的量测数据，而求与第二工件对应的量测...
该专利属于格罗方德半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过格罗方德半导体公司授权不得商用。

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