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一种刻蚀后去胶的溶液和方法技术
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文档序号:8161055
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本发明公开了一种刻蚀后去胶的溶液和方法,属于半导体发光器件制造技术领域。所述溶液由碱、醇和蒸馏水组成;其中所述碱的质量分数为10%至25%,所述醇的质量分数为5%至20%,所述蒸馏水的质量分数为60%至70%。所述方法包括:将刻蚀后的晶片放...
该专利属于华灿光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电股份有限公司授权不得商用。
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