下载一种刻蚀后去胶的溶液和方法的技术资料

文档序号:8161055

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种刻蚀后去胶的溶液和方法,属于半导体发光器件制造技术领域。所述溶液由碱、醇和蒸馏水组成;其中所述碱的质量分数为10%至25%,所述醇的质量分数为5%至20%,所述蒸馏水的质量分数为60%至70%。所述方法包括:将刻蚀后的晶片放...
该专利属于华灿光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。