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本发明涉及一种电容式MEMS传感器的检测电路，其包括用于与第一待测电容、第二待测电容相连后形成的谐振单元，所述谐振单元通过频率检测单元与差频电路相连，频率检测单元的输出端分别与第一待测电容的第一可动极板、第二待测电容的第二可动极板相连；第一...
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