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高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置制造方法及图纸
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文档序号:8160064
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高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域;本发明采用了空间分离的参考光和测量光,并进行测量光路平衡性设计,同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号,并根据被测目标的运动方向和速度,选择性使用两测量信号来进行干涉...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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