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本发明公开了一种光电材料的制备方法，具体涉及光电材料领域。它的制备方法为：(1)首先将选好的衬底材料蓝宝石、石英晶体和硅片等清洗干净、烘干备用；(2)先将清洗好的衬底固定在真空室中的衬底托盘上，保持良好的面接触以便热传导均匀,然后关闭真空室...
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