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一种晶体硅制绒前的清洗剂及清洗方法技术
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文档序号:8157658
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本发明提供了一种晶体硅制绒前的清洗剂及清洗方法,该清洗剂包括以下组分:0.1wt%~5wt%的氢氧化钠;1wt%~8wt%的过氧化氢;余量为水。本发明将待处理的晶体硅置于上述清洗剂中,依次进行第一超声处理和第二超声处理,完成对晶体硅的清洗。...
该专利属于浚鑫科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浚鑫科技股份有限公司授权不得商用。
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