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一种微波辅助降解硅纳米线制备硅纳米颗粒的方法技术
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文档序号:8156261
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一种微波辅助降解硅纳米线制备硅纳米颗粒的方法,将硅晶片置于丙酮中超声,超纯水清洗后,放入浓硫酸或浓硝酸和5vol%~30vol%双氧水混合溶液中除杂,再用超纯水清洗,得干净的硅晶片,置入5vol%~40vol%氟化氢溶液中,得表面覆盖大量硅...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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