下载光学零件中高频误差的组合式加工方法的技术资料

文档序号:8154809

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本发明公开了一种光学零件中高频误差的组合式加工方法,该方法是先利用干涉仪测量待加工光学零件的面形误差,然后进行PSD分析,基于PSD曲线确定中高频误差频率分布特征;再根据预先确定的加工时间和加工精度得到优化后的去除函数模型,并获得去除函数的...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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