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本发明提供一种紫外线照射装置，其通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率，从而缩短气体的置换时间且降低该置换的气体使用量。所述紫外线照射装置具备：对工件(W)照射紫外线的紫外线灯(2)；收容紫外线灯(2)且具有与工件(W)对置开口的开口...
该专利属于株式会社杰士汤浅国际所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社杰士汤浅国际授权不得商用。

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