紫外线照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种紫外线照射装置，其通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率，从而缩短气体的置换时间且降低该置换的气体使用量。所述紫外线照射装置具备：对工件(W)照射紫外线的紫外线灯(2)；收容紫外线灯(2)且具有与工件(W)对置开口的开口部(31)的壳体(3)；向壳体(3)内供给气体的气体供给机构(4)，在壳体(3)的内表面或内部空间设有循环引导面(3x)，该循环引导面(3x)用于使由气体供给机构(4)供给的气体在紫外线灯(2)的周围单向循环。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种紫外线照射装置。
技术介绍
以往，为了使基板等エ件表面清洁化，使用对エ件的表面照射紫外线而使表面上的有机物氧化分解的紫外线照射装置。其中，从紫外线灯射出的例如波长172nm的紫外线被气氛中的氧分子吸收。具体而言，波长172nm的紫外线在大气中仅行进2mm即衰减为30% 40%程度。因此，如专利 文献I或专利文献2等所示，在收容紫外线灯的壳体(灯室)内充满例如氮(N2)气等惰性气体，且在紫外线灯与エ件之间充满惰性气体。通过如此将紫外线灯的周围气氛由惰性气体充满，从而通过防止从紫外线灯射出的紫外线发生衰减，提高向エ件照射的紫外线的照射效率，从而实现エ件清洗效率的提高。然而，如上述专利文献I和专利文献2所示，由于从成为大致长方体形状的壳体的上表面朝向下方供给惰性气体、或从灯室的侧面朝向横向供给惰性气体，因此，存在灯室内的惰性气体置换耗费时间的问题。另外，不仅滞留在灯室内的角部的气体不易置換，而且在紫外线灯的惰性气体导入口相反侧的空间也不易实现气体置換，造成存在直至置換结束为止所使用的惰性气体的供给量增加的问题。另外，为了使壳体内成为惰性气体气氛，需要将设于壳体的紫外线照射侧的开ロ部用光透过窗密封，为了使光透过窗与エ件之间的空间成为惰性气体气氛，需要设置第二气体供给机构，或者设置在光透过窗与壳体之间设置间隙而将壳体内的气体向エ件侧导入的机构，然而这样存在部件件数变多的问题。在先技术文献专利文献专利文献I日本特开2009-268974号公报专利文献2日本特开2010-125368号公报
技术实现思路
因此，本专利技术为了一举解决上述问题点而完成，其主要课题在于，通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率，从而缩短气体的置換时间且降低该置换的气体使用量。即，本专利技术的紫外线照射装置的特征在于，具备紫外线灯，其向エ件照射紫外线；壳体，其收容所述紫外线灯且具有与所述エ件对置开ロ的开ロ部；气体供给机构，其向所述壳体内供给气体且在所述壳体的内表面或内部空间设有循环引导面，该循环引导面用于使由所述气体供给机构供给的气体在所述紫外线灯的周围单向循环。根据这种紫外线照射装置，由于由气体供给机构供给的气体沿设于壳体的内表面或内部空间的循环引导面在紫外线灯的周围单向循环，因此，能够提高壳体内的气体的置换效率。由此，能够缩短壳体内气体的置换时间且能够降低气体的使用量。由于能够降低气体的使用量，因此能够削減紫外线照射装置的运转费中占三分之一至二分之一的气体成本。另外，本专利技术的紫外线照射装置通过使气体在紫外线灯的周围循环，从而能够提高紫外线灯与エ件之间的空间(紫外线灯的紫外线照射侧的空间)的气体的置换效率。由此，能够增大紫外线灯与エ件的距离，能够尽可能地増大ー个紫外线灯的エ件照射范围。进而，本专利技术的紫外线照射装置通过使气体在紫外线灯的周围循环，从而能够防止白粉附着在紫外线灯上。需要说明的是，该白粉以如下方式生成，即，在有机溶剂、酸、碱等各种药品在紫外线灯的气氛中气化雾化而浮游的情况下，受到紫外线照射而生成硫酸铵等反应生成物，除附着于紫外线灯上而生成之外，还存在从照射中的エ件产生的飞散物与 灯接触而再结晶化生成的情況。因该白粉的存在，使得紫外线的透过受到阻碍而使紫外线強度降低，另外，白粉从紫外线灯剥落而产生污染エ件的问题。优选沿着所述气体供给机构的气体供给方向的假想线与该假想线和所述壳体的内表面或所述循环引导面的交点处的切线所成的角度为锐角。由此可知，由气体供给机构供给的气体与壳体的内表面或循环引导面碰触后，沿该内表面或循环引导面流动，从而可容易地沿着紫外线灯的周围单向循环。从而，能够提高壳体内的气体的置换效率、气体的置换时间的缩短效果以及气体的使用量的降低效果。优选所述气体供给机构向与形成于所述壳体内的气体的循环方向相同的方向供给所述气体。如此ー来，由气体供给机构供给的气体更容易沿循环引导面在紫外线灯的周围单向循环，能够进一歩提高壳体内的气体的置换效率、气体的置换时间的缩短效果以及气体的使用量的降低效果。优选所述循环引导面的与所述壳体的长度方向垂直的剖面为大体部分圆形状、大体部分长圆形状、大体部分椭圆形状、角部成圆弧状的大体部分矩形状中的ー种形状。如此一来，能够使气体在紫外线灯的周围循环，提高壳体内的气体的置换效率，能够缩短气体的置換时间且降低该置换的气体使用量。在壳体的内表面形成为大体部分圆形状或大体部分椭圆形状的情况下，其内表面整体为循环引导面，在形成为大体部分长圆形状(大体部分跑道形状)的情况下，其两侧的圆弧部为循环引导面，在形成为角部为呈圆弧状的大体部分矩形状的情况下，其角部的圆弧部为循环引导面。优选所述紫外线灯成为长圆筒形状，所述壳体成为收容所述紫外线灯的长筒形状并且具有沿所述紫外线灯的长度方向的开ロ部。如此ー来，由于紫外线灯为圆筒形状，因此能够使气体在绕其轴向的周围循环，进而能够提高壳体内的气体的置换效率。优选所述气体供给机构在所述壳体的大致整个长度方向上朝向所述壳体内供给气体。如此ー来，在将成为长圆筒形状的紫外线灯收容的壳体中，能够在该紫外线灯的周围有效地填充气体。优选所述气体供给机构具有第一供给部，其在所述壳体的上部朝向与形成于所述壳体内的气体的循环方向相同的方向供给气体；第二供给部，其在所述壳体的开ロ部朝向与由所述第一供给部供给的气体的循环方向相同的方向供给气体。特别是，优选第二供给部朝向紫外线灯与エ件之间的空间向与由第一供给部供给的气体的循环方向相同的方向供给气体。如此ー来，由于从紫外线灯的上侧和下侧两方供给气体，因此能够有效进行紫外线灯周围的气体的循环，从而能够提高气体的置换效率。优选由所述气体供给机构供给的气体的循环方向为沿着所述エ件的输送方向的方向。于是，通过使循环方向与输送方向一致，不会因エ件的输送而使气体的循环紊乱，能够进一歩促进气体的循环。在尽可能加大紫外线灯的エ件照射区域的情况下，可以想到的是加大紫外线灯与エ件的距离。在这种情况下，可以想到的是，壳体的开ロ部以不遮挡紫外线灯的紫外线照射范围的方式形成，且同时加大紫外线灯及壳体与エ件的距离。此时，壳体与エ件之间的空间的气体置換变难。因此，优选具有罩部，该罩部从壳体的开ロ部向所述エ件侧延伸设置且以不遮挡所述紫外线灯的紫外线照射范围的方式覆盖所述エ件。另外，可以想到是，气体供给机构供给到壳体内的气体为惰性气体或エ艺过程气体。在此，エ艺过程气体是指抑制紫外线的吸收且有效进行エ件处理的气体，例如为氮气等惰性气体与氧气等的混合气体。 专利技术效果根据如此构成的本专利技术，能够通过提高收容紫外线灯的壳体内的气体的置换效率而缩短气体的置換时间且降低该置换的气体使用量。附图说明图I是表示本实施方式的紫外线照射装置的立体图。图2是表示该实施方式的紫外线照射装置的剖视图。图3是表示置换开始后的10秒后的模拟结果的图。图4是表示基板输送后的模拟结果的图。图5是变形实施方式涉及的紫外线照射装置的剖视图。图6是表不壳体的第一变形例的剖视图。图7是表示壳体的第二变形例的剖视图。图8是表示壳体的第三变形例的剖视图。图9是表示壳体的第四变形例的剖视图。图10是表示变形实施方式的紫外线照射装置的剖视图。符号说明100-紫外线照射装置W-エ件S-エ件的输送方向2-紫外线灯A-紫本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紫外线照射装置，其特征在于，具备：紫外线灯，其向工件照射紫外线；壳体，其收容所述紫外线灯且具有与所述工件对置开口的开口部；气体供给机构，其向所述壳体内供给气体，在所述壳体的内表面或内部空间设有循环引导面，该循环引导面用于使由所述气体供给机构供给的气体在所述紫外线灯的周围单向循环。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：片桐毅，广井和则，
申请(专利权)人：株式会社杰士汤浅国际，
类型：发明
国别省市：