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双肖特基结氧化锌半导体薄膜晶体管制造技术
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文档序号:8149905
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双肖特基结氧化锌半导体薄膜晶体管。目前国内外研究的ZnO薄膜晶体管主要采用顶栅与底栅场效应结构。一种双肖特基结氧化锌半导体薄膜晶体管,其组成包括:底衬板(1),所述的底衬板上面连接源极Ag薄膜层(2),所述的源极Ag薄膜层上面连接导电沟道Z...
该专利属于哈尔滨理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。
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