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功率金氧半导体场效晶体管制造技术
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文档序号:8149904
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本实用新型涉及一种功率金氧半导体场效晶体管,有有源区、栅极母线区以及终端区,其包含基板、导电沟渠、阱区与介电层。所述功率金氧半导体场效晶体管还具有至少一终端结构,其包括至少一个导电沟渠、多个位于终端区内并借助于导电沟渠互相电性隔离的阱区、一...
该专利属于杰力科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰力科技股份有限公司授权不得商用。
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