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本实用新型公开了一种新型晶圆承载盒,包括盒体、挡块和把手,把手位于盒体的两侧,盒体具有前后相通的空腔,挡块位于盒体的后端;盒体的两个内侧壁上对称地设置有数排载台,载台的横截面呈梯形,挡块上还固设有橡胶材质的软挡条。该实用新型将原来横截面呈矩...该专利属于昆山英博尔电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山英博尔电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种新型晶圆承载盒,包括盒体、挡块和把手,把手位于盒体的两侧,盒体具有前后相通的空腔,挡块位于盒体的后端;盒体的两个内侧壁上对称地设置有数排载台,载台的横截面呈梯形,挡块上还固设有橡胶材质的软挡条。该实用新型将原来横截面呈矩...