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一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统技术方案
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下载一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统的技术资料
文档序号:8148176
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本实用新型公开了一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统。具体包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器,系统载气为高纯氦气。本实用新型采用五阀四柱的阀路系统,一次...
该专利属于黎明化工研究院所有,仅供学习研究参考,未经过黎明化工研究院授权不得商用。
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