一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统。具体包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气。本实用新型专利技术采用五阀四柱的阀路系统，一次进样可完成多种气相杂质的测定。该阀路系统操作方便，适用于高纯度含氟电子气体领域工业化生产中使用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多维气相色谱阀路系统，特别涉及用于多种高纯度含氟电子气体分析用气相色谱阀路系统。
技术介绍
含氟电子气体主要用途是在电子、半导体工业和光伏产业中化学气相沉积的清洗剂和等离子蚀刻剂。随着近几年TFT-LCD面板业、半导体业和太阳能面板业等相关领域的 迅猛发展，含氟电子气体的用量也在不断增加。若高纯度含氟电子气体中杂质如H2、02、N2, CH4, CO、CO2, N2O等含量过高，将严重影响其在清洗蚀刻方面的使用性能，因此在分析检测方面要求较高。目前，涉及以上高纯度含氟电子气体检测的国家标准和国外标准(如IEC、SEMI、ASTM等)中，对其中气体杂质的分析方法做了相应规定，有些明确的给出了阀路系统，例如《工业六氟化硫》(GB/T 12022-2006)、《电子工业用气体六氟化硫》(GB/T 18867-2002)、ASTM D2472-00 (SE6)、SEMI C3. 24-0301 (SF6)、IEC 60376-2005 (SF6)、《电子工业用气体三氟化氮》(GB/T 21287-2007)、SEMIC3. 39-0999 (NF3)、SEMI C3. 40-10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统，包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气，其中第一四通阀(1)的第1接口、第2接口分别连接样品出口、样品进口，第一四通阀的第4接口连接第一路载气，第一四通阀的第3接口通过管路与第一十通阀(2)的第1接口连接；第一十通阀(2)的第2接口连接气体出口，第一十通阀的第3接口和第10接口之间连接定量环(24)，第一十通阀的第4接口连接第三路载气，第一十通阀的第5接口和第9接口之间连接预分离色谱柱(6)，第一十通阀的第6接口通过管路与八通阀(3)的第1接口连接，第一...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓磊，牛学坤，梁真镇，张景利，付梦月，侯玲玲，汤月贞，张亚平，
申请(专利权)人：黎明化工研究院，
类型：实用新型
国别省市：