下载石墨坩埚的技术资料

文档序号:8147372

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本实用新型公开了一种石墨坩埚,其包括有石墨基体,所述石墨基体的内壁及外壁设有CVD抗氧化涂料层。所述石墨基体的外壁设有透气布,所述透气布位于所述CVD抗氧化涂料层的外侧,所述透气布的外侧覆盖有高温粘合剂。本实用新型通过在所述石墨基体的内、外...
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