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本实用新型公开了一种制备二维纳米薄膜的设备，包括物理气相沉积腔室、进料腔室、化学气相沉积腔室和样品传递装置。腔室之间设有阀门，样品通过样品传递装置可以在各腔室之间传递；化学气相沉积腔室设有加热装置、气体连接口以及样品升降装置；物理气相沉积腔...
该专利属于徐明生;陈红征;王秋来;黄文符所有，仅供学习研究参考，未经过徐明生;陈红征;王秋来;黄文符授权不得商用。

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