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本实用新型属于装有多晶硅插片隔热层的多晶硅还原炉节能装置。不锈钢管和多晶硅插片组成的隔热层与炉体的内壁的间距为25~250mm；隔热层与炉体内壁连接，炉体通过法兰固定在底座上；底座上装有底盘进气口，氢气或者四氯氢硅气体由底盘进气口进入环形进...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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