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为了通过PECVD沉积，在基础结构上，于太阳能电池的p-i-n配置内制造出非晶氢化硅的本征吸收体层，因此改进生产量同时维持吸收体层的质量，已提出了特定的加工状况，其中在用来沉积所提出的吸收体层的反应器中，建立1毫巴至1.8毫巴间的压力及硅烷...
该专利属于欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。

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