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在一种制造基于硅的薄膜太阳能电池的方法中，提供基板；在所述基板上沉积透明导电氧化物的第一电极层。在第一时间间隔期间处理所述透明导电氧化物层的表面。之后在第二时间间隔期间在所处理的表面上沉积掺杂层。在包含气态掺杂物的气氛中执行对透明导电氧化物...
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