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本发明提供可显著地抑制α射线的发生，且能够进行激光加工、与硅制部件的亲和性高的、用于形成半导体器件贯通电极的玻璃基板。本发明涉及玻璃基板，其特征在于，其具有多个贯通孔，α计数为0.05c/cm2·h以下，包含40wt%以上的SiO2，且Li...
该专利属于旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过旭硝子株式会社授权不得商用。

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