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星形聚合物及其制法制造技术
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文档序号:8133526
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本发明提供适于作为抗蚀剂材料等的窄分散的苯乙烯系星形聚合物。本发明的星形聚合物由下式A[C(Y)Xm]n(式中,A表示碳原子数4~15的多价脂肪族烃基,C表示碳原子,X表示苯乙烯系聚合物链,Y表示羟基或氧基,m表示1或2,n表示2~5中的任...
该专利属于日本曹达株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本曹达株式会社授权不得商用。
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