星形聚合物及其制法制造技术

本发明专利技术提供适于作为抗蚀剂材料等的窄分散的苯乙烯系星形聚合物。本发明专利技术的星形聚合物由下式A[C（Y）Xm]n（式中，A表示碳原子数4～15的多价脂肪族烃基，C表示碳原子，X表示苯乙烯系聚合物链，Y表示羟基或氧基，m表示1或2，n表示2～5中的任一整数。其中，Y为羟基时m为2，Y为氧基时m为1）表示。上述星形聚合物可以通过使具有阴离子末端的苯乙烯系聚合物与A（COOR）n（式中，R表示碳原子数1～8的烷基，A和n与上述式中的定义相同）所示的脂肪族羧酸酯反应来制造。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及星形聚合物及其制法，特别是涉及适用于抗蚀剂材料等的窄分散的苯乙烯系星形聚合物及其制法。本申请基于2010年4月21日提出申请的日本专利申请第2010-097590号主张优先权，将其内容援引于此。
技术介绍
星形聚合物是由核部和具有自其延伸的聚合物链的臂部构成的共聚物。以往已开发出许多星形聚合物，但尚未开发出作为抗蚀剂材料显示出实用上特别良好的物性的星形聚合物。另一方面，星形聚合物中，使用苯乙烯系聚合物作为臂部的星形聚合物可举出例如以下的文献中记载的星形聚合物。专利文献I、专利文献2中，以烯基苯酚系均聚物或共聚物作为臂部，使用多官能性偶联剂作为核部使臂部的聚合物偶联。这里，作为多官能性偶联剂，可例示二乙烯基芳香族化合物、三乙烯基芳香族化合物等芳香族化合物、二环氧化物、二酮、二醛和通式(CR1R2X )nR3所示的化合物(式中，X表示选自卤素原子、碳原子数I 6的烷氧基和碳原子数2 6的酰氧基中的取代基。R1和R2分别表示氢原子或碳原子数I 6的I价烃基，R1和R2可以相同也可以不同。R3表示能够具有η个取代基(CR1R2X)的多价芳香族烃基或多价脂肪族烃基。η表示3 6中的任一整数。)另外，专利文献3中，公开了以烯基苯酚衍生物与(甲基)丙烯酸酯衍生物的共聚物作为臂部，并使用由下式

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.21 JP 2010-0975901.一种星形聚合物，由下式A[C (Y) Xjn表不， 式中，A表示碳原子数4 15的多价脂肪族烃基，C表示碳原子，X表示苯乙烯系聚合物链，Y表示羟基或氧基，m表示I或2，η表示2 5中的任一整数，其中，Y为羟基时m为...

【专利技术属性】
技术研发人员：白井昭宏，新谷武士，
申请(专利权)人：日本曹达株式会社，
类型：
国别省市：