下载玻璃基板保持用膜体及玻璃基板的研磨方法的技术资料

文档序号:8133339

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本发明涉及一种玻璃基板保持用膜体,通过借助双面胶粘片(34)将自吸附型片(32)粘贴在背板上而构成,并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上,其中,所述双面胶粘片由片状基材(38)和设置在该基材的两面上的粘合层(40、42)构成,所述粘合层以...
该专利属于旭硝子株式会社;富士纺控股株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社;富士纺控股株式会社授权不得商用。

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