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Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶技术
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文档序号:8133321
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本发明提供能够容易地制造高品质Cu-Ga合金粉末的Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶。本发明将以85:15~55:45的质量比配合Cu粉末和Ga而成的混合粉末,在非活性...
该专利属于住友金属矿山株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友金属矿山株式会社授权不得商用。
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