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过滤器装置、过滤器的收容方法、及曝光装置制造方法及图纸
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下载过滤器装置、过滤器的收容方法、及曝光装置的技术资料
文档序号:8133280
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过滤器装置,具备:过滤器箱,具备保持过滤器的框架,以及设于框架的侧面的至少一部分、往框架的端面侧且变化至框架外侧的形状变化部;以及收容部,为收容过滤器箱;盒体具有卡合于框架的形状变化部而定位框架的定位块与按压框架的端面的分隔板。能将框架的设...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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