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本发明提供了一种单片集成MEMS电容传感器锁相放大电路，该电路包括四个部分：MEMS电容桥式电路，信号输入通道、参考信号输入通道、相关器。其中，MEMS电容桥式电路为MEMS器件部分，其余部分为CMOS电路部分。信号通道中有前置放大器、滤波...
该专利属于江苏物联网研究发展中心所有，仅供学习研究参考，未经过江苏物联网研究发展中心授权不得商用。

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