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相变随机存取存储器件及其制造方法技术
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文档序号:8131860
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本发明公开了一种相变随机存取存储(PCRAM)器件及其制造方法。所述PCRAM器件包括:半导体衬底;结字线,所述结字线被形成在所述半导体衬底上;外延字线,所述外延字线被形成在所述结字线上;以及开关器件,所述开关器件被形成在所述外延字线上。...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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