下载硅片的制绒酸洗的方法的技术资料

文档序号:8131839

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本发明公开了一种硅片的制绒酸洗的方法。该方法包括使硅片依次经过下述步骤处理:预清洗、第一次水洗、碱制绒、第二次水洗、第一次酸洗、第二次酸洗、第三次水洗、慢提拉、以及烘干。应用本发明的技术方案,硅片的制绒酸洗的方法只需添加一个酸槽,采用两步酸...
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