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本发明公开了一种硅基薄膜太阳能电池制备方法,包括的步骤有:采用皮秒激光束在透光导电氧化物层上进行刻划第一沟槽,其中,导电氧化物层与衬底叠加设置;在刻划有第一沟槽的导电氧化物层与所述衬底相对的表面镀半导体光电转化层;在半导体光电转化层上进行刻...该专利属于信义光伏产业(安徽)控股有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过信义光伏产业(安徽)控股有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种硅基薄膜太阳能电池制备方法,包括的步骤有:采用皮秒激光束在透光导电氧化物层上进行刻划第一沟槽,其中,导电氧化物层与衬底叠加设置;在刻划有第一沟槽的导电氧化物层与所述衬底相对的表面镀半导体光电转化层;在半导体光电转化层上进行刻...