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本发明涉及太阳能电池生产领域，具体的说是一种能够快速有效的在单晶硅扩散工艺中吸杂的方法。该方法包括扩散工序、干氧吸杂工序，其具体步骤是：扩散工序后的干氧吸杂工序采用先高温后低温的变温通氧吸杂工序，首先在850℃左右通入1000sccm/mi...
该专利属于吉林庆达新能源电力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉林庆达新能源电力股份有限公司授权不得商用。

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