温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种衬底处理装置和衬底处理方法，所述装置包括第一负载腔、第一阀门和处理腔，所述第一阀门设置在所述第一负载腔和所述处理腔之间，用于连接所述第一负载腔和所述处理腔，所述衬底处理装置还包括气压调节单元，以使得所述第一阀门打开时，所述第...
该专利属于理想能源设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理想能源设备（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。