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本发明实施例提供薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示装置，涉及显示技术领域，能够在低温下制备出杂质含量较低的薄膜晶体管。本发明的薄膜晶体管，包括基板，设置于所述基板上的有源层，所述有源层包括源极、漏极和沟道区，所述有源层是通过在所述基板上...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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