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半导体装置以及半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8131772
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一种半导体装置,其中使用含有In、Ga及Zn的氧化物半导体膜作为半导体层,并且在半导体层与源电极层和漏电极层之间包括设置有缓冲层的反交错型(底栅结构)的薄膜晶体管。通过在源电极层和漏电极层与半导体层之间意图性地设置载流子浓度比半导体层高的缓...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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