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动态随机存取存储器及其制造方法技术
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文档序号:8131767
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本发明公开了一种动态随机存取存储器及其制造方法,上述动态随机存取存储器包括一埋藏位线,设置于一基板内沿一第一方向延伸的一第一沟槽中,上述埋藏位线包括复数个位线接触物,沿上述第一方向间隔设置于上述第一沟槽的一侧壁上;一第一绝缘物,设置于上述基...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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