下载在种子层之上形成互连结构的半导体器件和方法的技术资料

文档序号:8131718

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本发明涉及在种子层之上形成互连结构的半导体器件和方法。一种半导体器件具有半导体管芯,在管芯之上形成有第一导电层。在管芯之上形成第一绝缘层,第一绝缘层中的第一开口被设置在第一导电层之上。在第一绝缘层之上并进入到第一导电层之上的第一开口中形成第...
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