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本发明提供热处理炉以及热处理装置。热处理炉包括:处理容器,其用于收容至少一个被热处理体;绝热部件,其呈圆筒状,用于覆盖该处理容器的周围;加热器,其沿该绝热部件的内周面配置,该加热器具有沿绝热部件的内周面呈螺旋状配置的波纹型的带状加热元件,加...该专利属于霓佳斯株式会社;东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过霓佳斯株式会社;东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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本发明提供热处理炉以及热处理装置。热处理炉包括:处理容器,其用于收容至少一个被热处理体;绝热部件,其呈圆筒状,用于覆盖该处理容器的周围;加热器,其沿该绝热部件的内周面配置,该加热器具有沿绝热部件的内周面呈螺旋状配置的波纹型的带状加热元件,加...