下载覆晶接合方法及装置的技术资料

文档序号:8131704

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本发明提供一种覆晶接合方法及装置。该方法包括:置放一第一半导体芯片于一封装基板上,其中该第一半导体芯片的凸块接触该封装基板的第一表面;固定该封装基板;及加热该封装基板及该第一半导体芯片,其中在加热过程中,该封装基板的变形受到限制,且该第一半...
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