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芯片结合方法技术
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文档序号:8131701
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一种芯片结合方法,其包括下列步骤。移转至少一芯片至一载板上并再提供一负压环境。加热至少一芯片及/或载板并施加一正向压力于至少一芯片上。...
该专利属于华新丽华股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华新丽华股份有限公司授权不得商用。
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