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本发明公开了一种洁净度监测系统，用于监测自动化物料搬送系统的洁净度。自动化物料搬送系统包括若干个用于装载物料的卡匣，自动化物料搬送系统按照预定路径循环搬送卡匣。洁净度监测系统包括：洁净度测量装置，设置于卡匣，用于测量洁净度以得到测量数据；第...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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