一种洁净度监测系统和卡匣技术方案

本发明专利技术公开了一种洁净度监测系统，用于监测自动化物料搬送系统的洁净度。自动化物料搬送系统包括若干个用于装载物料的卡匣，自动化物料搬送系统按照预定路径循环搬送卡匣。洁净度监测系统包括：洁净度测量装置，设置于卡匣，用于测量洁净度以得到测量数据；第一信号收发装置，设置于卡匣并与洁净度测量装置连接，用于接收测量数据，并将测量数据转换为无线信号进行发送；第二信号收发装置，设置于卡匣之外的预定位置，用于接收无线信号；测量主机，与第二信号收发装置连接，用于接收无线信号并根据无线信号生成测量数据。本发明专利技术还公开了一种自动化物料搬送系统的卡匣。通过上述方式，本发明专利技术的洁净度监测系统和卡匣能够降低成本，提高监测效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及环境监测领域，特别是涉及ー种洁净度监测系统和卡匣。
技术介绍
在很多领域都需要洁净环境，尤其是液晶面板的制造车间。制作液晶面板的玻璃采用卡匣装载，每个卡匣可装载几十片液晶面板所用的玻璃。卡匣由自动化物料搬送系统(AMHS, Automatic Materiel Handing System)运送到相应制程附近的货栈(Stocker)储存，然后通过分片装置从卡匣中将玻璃依次取出进行相应制程的作业。作业完成后，再将玻璃依次送回卡匣，自动化物料搬送系统再将卡匣运送到下一个制程附近的货栈储存。货栈以及连接货栈之间的卡匣的通道均属于自动化物料搬送系统的一部分。 制造环境的洁净度将直接影响液晶面板的生产良率，并且液晶面板出现不良品带来的损失很高。因此，液晶面板的各个制程对于洁净度有严格要求。在生产过程中，液晶面板停留于自动化物料搬送系统的时间最长，对于自动化物料搬送系统的洁净度的监测尤为重要。目前，自动化物料搬送系统洁净度的监测主要采用单台仪器由人工进行测量。但是这种測量方式存在以下缺点1、人也是污染源，人的存在降低了測量可靠性；2、测量仪器在某些位置操作时需要停机作业，造成产能损失；3、制造车间的空间范围通常很大，若全部覆盖需要设置多个仪器和増加人力，效率低、成本高，以货栈为例，货栈的空间尺寸为60mX6mX6m，若要全面覆盖货栈，则需要的仪器数量至少为10个；4、人工測量具有滞后性，増加液晶面板出现不良品的风险。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种洁净度监测系统和卡匣，能够降低成本，提高监测效率。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是提供一种洁净度监测系统，用于监测自动化物料搬送系统的洁净度，自动化物料搬送系统包括若干个卡匣，卡匣用于装载物料，自动化物料搬送系统按照预定路径循环搬送卡匣。洁净度监测系统包括洁净度測量装置，设置于卡匣，用于测量洁净度以得到測量数据；第一信号收发装置，设置于卡匣并与洁净度测量装置连接，用于接收測量数据，并将测量数据转换为无线信号进行发送；第ニ信号收发装置，设置于卡匣之外的预定位置，用于接收无线信号；测量主机，与第二信号收发装置连接，用于接收无线信号井根据无线信号生成測量数据。其中，測量主机进ー步用于通过第二信号收发装置和第一信号收发装置控制洁净度測量装置測量洁净度。其中，第二信号收发装置包括无线分支路由器，与第一信号收发装置建立无线连接，用于通过无线连接接收无线信号；主路由器，与无线分支路由器连接，用于接收无线信号；其中，測量主机与主路由器连接。其中，无线分支路由器数量为多个，分别与主路由器连接且分别对应预定路径的多个测量点设置，測量主机具体用于通过第二信号收发装置和第一信号收发装置，控制洁净度测量装置在经过每个测量点时测量洁净度，并且获取每个测量点处的位置的位置数据以及获取卡匣经过每个測量点測量洁净度的时间的时间数据。其中，測量主机获取来自自动化物料搬送系统的卡匣经过每个测量点处的位置的位置数据，获取位置数据后，通过第二信号收发装置和第一信号收发装置，控制洁净度测量装置在经过每个测量点时测量洁净度，并接收在经过每个测量点測量洁净度时的时间的时间数据和无线信号。其中，洁净度监测系统还包括打印机，打印机与測量主机连接，用于打印測量数据。其中，卡匣上设置有锂电池，锂电池向洁净度測量装置和第一信号收发装置提供电源。·其中，设置有洁净度測量装置及第一信号收发装置的卡匣数量为多个。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另ー个技术方案是提供一种自动化物料搬送系统的卡匣，卡匣用于装载物料，卡匣设置有洁净度測量装置，用于测量洁净度以得到測量数据；第一信号收发装置，与洁净度測量装置连接，用于接收測量数据，并将測量数据转换为无线信号进行发送。其中，洁净度測量装置在接收到来自控制方的測量指令时测量洁净度，以得到测量数据，井向控制方发送测量数据和测量洁净度时的时间的时间数据。本专利技术的有益效果是区别于现有技术的情况，本专利技术实施方式的洁净度监测系统和卡匣通过在卡匣中设置洁净度测量装置，循环搬送卡匣时，洁净度測量装置也循环移动，从而循环监测对自动化物料搬送系统范围内的洁净度，由于只采用少量的洁净度測量装置进行循环，能够降低成本，提高监测效率。附图说明图I是本专利技术洁净度监测系统ー实施方式的结构示意图；图2是本专利技术洁净度监测系统另ー实施方式的结构示意图；图3是本专利技术自动化物料搬送系统的卡匣的ー实施方式的结构示意图。具体实施例方式下面结合附图和实施方式对本专利技术进行详细说明。请參阅图1，图I是本专利技术洁净度监测系统ー实施方式的结构示意图。为了清楚显示，图中一井示出了卡匣100。本实施方式的洁净度监测系统用于监测自动化物料搬送系统(图未示)的洁净度，而自动化物料搬送系统包括若干个卡匣100，卡匣100用于装载物料，自动化物料搬送系统按照预定路径循环搬送卡匣100。洁净度监测系统包括洁净度測量装置210、第一信号收发装置220、第二信号收发装置230以及测量主机240。洁净度測量装置210设置于卡匣100，用于测量洁净度以得到測量数据。对于液晶面板制造环境的洁净度而言，比较重要的測量项目是测量尘埃粒子，因为尘埃粒子对液晶面板的良品率影响较大，故在本实施方式中，洁净度測量装置210可以是尘埃粒子计数器。第一信号收发装置220设置于卡匣100并与洁净度测量装置210连接，用于接收測量数据，并将测量数据转换为无线信号进行发送。第一信号收发装置220对测量数据进行处理，转换为后续设备能够接收和识别的无线信号。在本实施方式中，第一信号收发装置220为信号变送器。第二信号收发装置230设置于卡匣100之外的预定位置，用于接收无线信号。由于第二信号收发装置230与第一信号收发装置220之间以无线信号进行交互，因此第二信号收发装置230的位置可以自由设置。例如，第二信号收发装置230固定于预定路径上的某一位置，卡匣100在循环移动中，毎次移动到该位置吋，洁净度測量装置210进行测量，第一信号收发装置220便将无线信号发送给第二信号收发装置230。測量主机240与第二信号收发装置230连接，用于接收无线信号井根据无线信号生成測量数据。在本实施方式中，測量主机240进ー步用于通过第二信号收发装置230和 第一信号收发装置220控制洁净度测量装置210測量洁净度。本实施方式中的卡匣100用于装载物料，且能够在自动化物料搬送系统中循环移动。因此，洁净度測量装置210和第一信号收发装置220可以设置于装载有物料的卡匣100，也可以设置于空的卡匣100。循环搬送卡匣100时，洁净度测量装置210也循环移动，从而循环监测对自动化物料搬送系统范围内的洁净度。另外，设置有洁净度測量装置210的卡匣100可以混入其它只装载有物料的卡匣100中，使得测量过程可以在生产过程中进行，不会影响产能，而且采用循环监测，所采用的洁净度測量装置210数量少，能够降低成本，提高监测效率。请參阅图2，图2是本专利技术洁净度监测系统另ー实施方式的结构示意图。为了清楚显示，图中还示出了自动化物料搬送系统40。自动化物料搬送系统40包括若干个卡匣400，卡匣400用于装载物料，自动化物料搬送系统40按照预定路径410循环搬送卡匣400。洁净度监测系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种洁净度监测系统，用于监测自动化物料搬送系统的洁净度，所述自动化物料搬送系统包括若干个卡匣，所述卡匣用于装载物料，所述自动化物料搬送系统按照预定路径循环搬送所述卡匣，其特征在于，所述洁净度监测系统包括：洁净度测量装置，设置于所述卡匣，用于测量洁净度以得到测量数据；第一信号收发装置，设置于所述卡匣并与所述洁净度测量装置连接，用于接收所述测量数据，并将所述测量数据转换为无线信号进行发送；第二信号收发装置，设置于所述卡匣之外的预定位置，用于接收所述无线信号；测量主机，与所述第二信号收发装置连接，用于接收所述无线信号并根据所述无线信号生成测量数据。

【技术特征摘要】
1.ー种洁净度监测系统，用于监测自动化物料搬送系统的洁净度，所述自动化物料搬送系统包括若干个卡匣，所述卡匣用于装载物料，所述自动化物料搬送系统按照预定路径循环搬送所述卡匣，其特征在于，所述洁净度监测系统包括 洁净度測量装置，设置于所述卡匣，用于测量洁净度以得到測量数据； 第一信号收发装置，设置于所述卡匣并与所述洁净度測量装置连接，用于接收所述测量数据，并将所述测量数据转换为无线信号进行发送； 第二信号收发装置，设置于所述卡匣之外的预定位置，用于接收所述无线信号； 測量主机，与所述第二信号收发装置连接，用于接收所述无线信号并根据所述无线信号生成測量数据。2.根据权利要求I所述的洁净度监测系统，其特征在于 所述测量主机进ー步用于通过所述第二信号收发装置和所述第一信号收发装置控制所述洁净度測量装置測量洁净度。3.根据权利要求2所述的洁净度监测系统，其特征在于，所述第二信号收发装置包括 无线分支路由器，与所述第一信号收发装置建立无线连接，用于通过所述无线连接接收所述无线信号； 主路由器，与所述无线分支路由器连接，用于接收所述无线信号； 其中，所述测量主机与所述主路由器连接。4.根据权利要求3所述的洁净度监测系统，其特征在于，所述无线分支路由器数量为多个，分别与所述主路由器连接且分别对应所述预定路径的多个测量点设置，所述测量主机具体用于通过所述第二信号收发装置和所述第一信号收发装置，控制所述洁净度測量装置在经过每个所述測量点...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪永强，吴俊豪，林昆贤，李贤德，齐明虎，杨卫兵，陈增宏，郭振华，蒋运芍，舒志优，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：