下载压力传感器的制作方法的技术资料

文档序号:8130126

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本发明提出一种压力传感器的制作方法,包括:提供覆盖有膜片的底座,在膜片上印刷多个硅酸盐模片;对硅酸盐模片进行第一次烧结,使硅酸盐模片形成与膜片粘连的硅酸盐薄片;在硅酸盐薄片上设置一个硅应变计或多个相互独立的硅应变计;对硅酸盐薄片进行第二次烧...
该专利属于江苏恩泰传感器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏恩泰传感器有限公司授权不得商用。

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