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感测装置及其力感测系统制造方法及图纸
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文档序号:8130122
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一种力感测装置及其力感测系统。力感测装置包括可相对运动地至少一层磁性材料层及力感测层。力感测层包括两感测元件。第一感测元件设置在磁性材料层的第一轴向,用以产生随着力感测装置所受的第一横向力而变动的感测信号。第一横向力为使第一感测元件与磁性材...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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