下载结晶装置、结晶方法以及热处理系统的技术资料

文档序号:8128607

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一种结晶装置,包括:接纳单元,支承待处理对象;第一加热单元,邻近于所述接纳单元,所述第一加热单元配置为在第一时间段中将所述待处理对象加热至第一温度;以及第二加热单元,邻近于所述第一加热单元,所述第二加热单元配置为在第二时间段中将所述待处理对...
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