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本发明涉及在物理气相沉积期间支撑工件的方法以及相关的设备。设置涂有吸热涂层(15)的支撑平面的铝支座(11)。冷却该支座至100℃左右，进行PVD过程以使得在冷却作用下工件的温度在350℃～450℃之间。涂层为惰性和/或超高电压兼容。...
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