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本发明公开一种薄膜沉积装置及方法，薄膜沉积装置用于在衬底上形成薄膜层，包括加热由载气携带的沉积材料的加热模块和向所述加热模块供料的进料总管，所述加热模块包括将所述载气及所述载气携带的沉积材料加热形成混合气体的加热部件及套设在所述加热部件外部...该专利属于无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司授权不得商用。