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本发明涉及一种洗净液组成物。该洗净液组成物包含碱性化合物A、含氟化合物B、直链型界面活性剂C及水D。根据本发明的洗净液组成物具有消泡性佳及凝胶物生成量低的优点。本发明亦提供一种清洗基板的方法。...
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