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本发明公开了一种多晶硅尾气干法回收系统中热能回收工艺，包括步骤：a1、120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器，对合成解析塔塔釜进行加热；a2、通过旁路阀调节120～150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器的流量...
该专利属于特变电工新疆硅业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过特变电工新疆硅业有限公司授权不得商用。

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